Centre de solutions de métrologie avancées


Imec lance un centre de solutions de métrologie avancée

Imec a officiellement lancé le Center for Advanced Metrology Solutions (CAMS). Ce centre s'appuie sur la vaste expérience d'Imec pour offrir un service de microscopie commerciale SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy) de haute qualité et une large gamme de produits et de solutions pour permettre et faciliter les mesures électriques de microscopie à force atomique.

La microscopie SSRM - une technique inventée à Imec - est une technique basée sur la microscopie à force atomique électrique (AFM) qui fournit des distributions de transport quantitatives à haute résolution dans des structures semi-conductrices 1D, 2D et 3D, telles que des couches minces, des cellules solaires, MOSFET, FinFET, TFET, etc. Les progrès récents en résolution et en extension à d'autres matériaux semi-conducteurs (SiGe, Ge, InGaAs, INP, etc.) ont généré un intérêt fort et croissant dans la communauté des semi-conducteurs pour la caractérisation de structures avancées. Pour permettre à toute la communauté de bénéficier de ces avancées, Imec propose désormais un service SSRM commercial aux clients externes via son centre de solutions de métrologie avancée nouvellement créé.

Source: http://www.nanowerk.com/news/newsid=23768.php



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